将乙二胺四乙酸二钠加入水中，升温至60℃，搅拌至溶解，再依次加入除氟化氢的其余组分，充分混合至各组分完全溶解，
最后加入氟化氢，混合至均匀即成。
本产品对半导体工艺中的材料和器件，薄膜工艺中的玻璃和金属表面有很好的清洗效果。本剂具有操作简便、成本低、无毒无害、对皮肤无刺激、对环境无污染等优点。
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