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超声清洗的主要机理是超声空化作用，超声空化的强弱与声学参数、清洗液的物理化学性质及环境条件有关.所以要得到良好的清洗效果必须选择适当的声学参数和清洗液。
在清洗液中只有交变声压幅值超过液体的静压力时才会出现负压。而负压要超过液体的强度才能产生空化。使液体产生空化的最低声强或声压幅值称为空化闽。各种液体具有不同的空化闽值，在超声清洗槽中的声强要高于空化闽值才能产生超声空化。对于一般液体，空化阀值约为0. 33w/cm²(声压的千方正比于声强)。声强增加时，空化泡的最大半径与起始半径的比值增大，空化强度增大，即声强越高，空化越强烈，有利于清洗作用。但不是声功率越大越好，声强过高，会产生大量无用的气泡，增加散射衰减，形成声屏障.同时声强增大也会增加非线性衰减，这样都会削弱远离声源地方的清洗效果。对于一些难清洗干净的污物，例如金属表面的氧化物，化纤喷丝板孔中污物的清洗，则需要采用较高的声强，此时被清洗面应贴近声源.这时大多不采用槽式清洗器，而用棒状聚焦式换能器直接插入清洗液靠近清洗件的表面进行清洗。