精密机械工业常常需对零件上用来润滑和抗腐蚀的脂类及矿物油加以清除，通常是用化学方法，而化学清洗往往仍有残留物。激光去脂可以将醋类及矿物油完全去除，不损伤零件表面。其污染物去除是由冲击波完成，零件表面氧化物薄层爆炸性气化形成了冲击波，导致污物去除，而非机械互相作用。材料彻底去脂法还用于航天工业机械零件的清理。机械零件加工中的油脂去除同样可采用激光清洗。
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