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因为准分子激光光束可以很容易地被塑造成不同的尺寸，因此可以根据CFRP的确切形状、特定类型的激光器的能量密度.以及所需的输出功率实现精确的应用。然而，所有的CFRP处理方法通常是两种基本方法的变体.即线扫描或步进一重复方式。
在线扫描方式中.激光束被塑形为一条线(一个长宽比非常高的矩形)，然后连续地横扫待清洁的表面。材料特定区域上辐照的脉冲数目是由线宽、光线移动速度和激光的重复频率共同来确定的。如果线路长度比待清洁的区域的宽度短，则需要在该区域内设置几个相邻的通道。
在步进一重复方法中，激光束被塑形为正方形或接近正方形的矩形。激光光斑定位在CFRP表面的固定点上进行辐照(包括一个或多个激光脉冲)。然后.该光束被转换成与光束宽度对应的距离。该过程不断重复，待清洁的整个区域就被以这种方式辐照。
准分子激光器产生的深紫外光波长不能通过光纤传输，而且典型的准分子激光传递光学器件的物理尺寸和重量都比较大.因此，将CFRP向激光束移动通常是比较可行的，而不是移动激光束。这些因素也使准分子激光器最适于进行生产工作，而不是现场维修。