一般根据被清洗基体物质与被清除污垢的光学特性，可以将激光清洗机理分为两大类:
(1)一类是清洗基片(也称为母体)与表面附着物(污物)对某一波长激光能量的吸收系数具有很大的差别，辐射到表面的激光能量大部分被表面附着物所吸收，从而受热或气化蒸发，或瞬间膨胀，并被形成的气流带动，脱离物体表面，达到清洗目的。而基片由于对该波长的激光吸收能量极小，不会受到损伤。对此类激光清洗，选择合适的波长和控制好激光能量大小，是实现安全高效清洗的关键。
(2)另一类适用于清洁基片与表面附着物的激光能量吸收系数差别不大.或基片对涂层受热形成的酸性蒸气较为敏感，或涂层受热后会产生有毒物质等情况的清洗方法。该类方法通常是利用高功率、高重复率的脉冲激光冲击被清洗的表面，使部分光束转换成声波。声波击中下层硬表面后.返回的部分与激光产生的入射声波发生干涉，产生高能波，使涂层发生小范围的爆炸.涂层被压成粉末.再被真空泵清除，而底下的基片却不会损伤。
(1)一类是清洗基片(也称为母体)与表面附着物(污物)对某一波长激光能量的吸收系数具有很大的差别，辐射到表面的激光能量大部分被表面附着物所吸收，从而受热或气化蒸发，或瞬间膨胀，并被形成的气流带动，脱离物体表面，达到清洗目的。而基片由于对该波长的激光吸收能量极小，不会受到损伤。对此类激光清洗，选择合适的波长和控制好激光能量大小，是实现安全高效清洗的关键。
(2)另一类适用于清洁基片与表面附着物的激光能量吸收系数差别不大.或基片对涂层受热形成的酸性蒸气较为敏感，或涂层受热后会产生有毒物质等情况的清洗方法。该类方法通常是利用高功率、高重复率的脉冲激光冲击被清洗的表面，使部分光束转换成声波。声波击中下层硬表面后.返回的部分与激光产生的入射声波发生干涉，产生高能波，使涂层发生小范围的爆炸.涂层被压成粉末.再被真空泵清除，而底下的基片却不会损伤。