激光清洗机理主要是基于物体表面污染物吸收激光能量后，或气化挥发，或瞬间受热膨胀而克服表面对粒子的吸附力，使其脱离物体表面，进而达到清洗的目的。目前对激光清洗的机理存在着一些分歧，但大多数机理都能对激光清洗实验中的一些现象进行合理的解释，归纳起来大致包括激光汽化分解、激光剥离、污物粒子热膨胀、基体表面振动和粒子振动四个方面，而且激光清洗常常是多种机理同时作用的结果。
同样，激光同电子束和离子束统称为高能束，共同特点是束流携带着很高的能量在空间传输.通过聚焦，在焦点附近可得到104-1015W/CM功率密度的照射，是强度最高的热源。
激光具有高亮度、高方向性、高单色性和高相干性的特点，这是普通光源所无法比拟的。利用激光的高亮度，经过透镜聚焦后，能在焦点附近产生上千度甚至上万度的温度。激光的高方向性使得激光能有效进行长距离传输。激光的单色性极高，波长单一，有利于聚焦和波长选择。
激光器发出的激光从光纤中传输到聚焦镜头，聚焦后从喷嘴内孔抵达需清洗工件表面。通常使用喷嘴.借助于与激光同轴的小孔喷嘴将具有一定压力的气体吹到清洗区。气体由辅助气源提供.其主要作用为防止镜头被飞溅物和烟尘污染，并起到净化工件表面，强化激光与材料的热作用。
物体表面附着的细微颗粒主要有氧化物和灰尘。激光清洗颗粒的机制是在激光束辐射下颗粒的热膨胀、基体表面的热膨胀和施于颗粒的光压等三种。当这些作用力的合力(清洗力)大于物体表面对颗粒的m着力时，颗粒就会脱落，而得到清洗。
另外，脉冲式的Nd: YAG激光清洗的过程是依赖于激光器所产生的光脉冲的特性，基于由高强度的光束、短脉冲激光及污染层之间的相互作用所导致的光物理反应。其物理原理可概括如下:
①激光器发射的光束被需处理表面上的污染层所吸收。
②大能量的吸收形成急剧膨胀的等离子体(高度电离的不稳定气体)，产生冲击波。
③冲击波使污染物变成碎片并被剔除。
④光脉冲宽度必须足够短，以避免使被处理表面遭到破坏的热积累。
⑤实验表明当金属表面上有氧化物时.等离子体会产生于金属表面。
等离子体只在能量密度高于闽值的情况下产生，这个阂值取决于被去除的污染层或氧化层。这个阂值效应对在保证基底材料安全的情况下进行有效清洁非常重要。等离子体的出现还存在第二个闽值。如果能量密度超过这一闺值，则基底材料将被破坏。为在保证基底材料安全的前提下进行有效的清洁，必须根据情况调整激光参数，使光脉冲的能量密度严格处于两个阂值之间。
每个激光脉冲可去除一定厚度的污染层。如果污染层比较厚，则需要多个脉冲进行清洗。将表面清洗干净所需要的脉冲数量取决于表面污染程度。由两个阂值产生的一个重要结果是清洗的自控性。能量密度高于第一闽值的光脉冲将一直剔除污染物.直到达到基底材料为止.因为其能量密度低于基底材料的破坏闽值，所以基底不会受到破坏。
同样，激光同电子束和离子束统称为高能束，共同特点是束流携带着很高的能量在空间传输.通过聚焦，在焦点附近可得到104-1015W/CM功率密度的照射，是强度最高的热源。
激光具有高亮度、高方向性、高单色性和高相干性的特点，这是普通光源所无法比拟的。利用激光的高亮度，经过透镜聚焦后，能在焦点附近产生上千度甚至上万度的温度。激光的高方向性使得激光能有效进行长距离传输。激光的单色性极高，波长单一，有利于聚焦和波长选择。
激光器发出的激光从光纤中传输到聚焦镜头，聚焦后从喷嘴内孔抵达需清洗工件表面。通常使用喷嘴.借助于与激光同轴的小孔喷嘴将具有一定压力的气体吹到清洗区。气体由辅助气源提供.其主要作用为防止镜头被飞溅物和烟尘污染，并起到净化工件表面，强化激光与材料的热作用。
物体表面附着的细微颗粒主要有氧化物和灰尘。激光清洗颗粒的机制是在激光束辐射下颗粒的热膨胀、基体表面的热膨胀和施于颗粒的光压等三种。当这些作用力的合力(清洗力)大于物体表面对颗粒的m着力时，颗粒就会脱落，而得到清洗。
另外，脉冲式的Nd: YAG激光清洗的过程是依赖于激光器所产生的光脉冲的特性，基于由高强度的光束、短脉冲激光及污染层之间的相互作用所导致的光物理反应。其物理原理可概括如下:
①激光器发射的光束被需处理表面上的污染层所吸收。
②大能量的吸收形成急剧膨胀的等离子体(高度电离的不稳定气体)，产生冲击波。
③冲击波使污染物变成碎片并被剔除。
④光脉冲宽度必须足够短，以避免使被处理表面遭到破坏的热积累。
⑤实验表明当金属表面上有氧化物时.等离子体会产生于金属表面。
等离子体只在能量密度高于闽值的情况下产生，这个阂值取决于被去除的污染层或氧化层。这个阂值效应对在保证基底材料安全的情况下进行有效清洁非常重要。等离子体的出现还存在第二个闽值。如果能量密度超过这一闺值，则基底材料将被破坏。为在保证基底材料安全的前提下进行有效的清洁，必须根据情况调整激光参数，使光脉冲的能量密度严格处于两个阂值之间。
每个激光脉冲可去除一定厚度的污染层。如果污染层比较厚，则需要多个脉冲进行清洗。将表面清洗干净所需要的脉冲数量取决于表面污染程度。由两个阂值产生的一个重要结果是清洗的自控性。能量密度高于第一闽值的光脉冲将一直剔除污染物.直到达到基底材料为止.因为其能量密度低于基底材料的破坏闽值，所以基底不会受到破坏。